sokushinbutsu总共分为三个阶段，每个阶段持续一千日。第一阶段，僧人禁食谷物，只吃水果和坚果，同时坚持禅修和社会服务。第二阶段，只吃松针和树皮，这个阶段过后，由于饥饿脱水，身体已经极度衰弱。
禁食期间，有些僧人会饮用日本漆树的毒汁，这种毒汁会加速死亡，同时也能驱散昆虫、保存尸体。两个阶段的受苦受难后，僧人身体上不再有多余的脂肪和水份，死后滋生细菌和昆虫的可能性降低。
最后阶段，僧人坐进一个特建的狭窄坟墓禅坐，徒弟封住坟墓，留下一个通气管。僧人每日摇铃告知外界自己还活着。若听不到铃声，徒弟就将坟墓完全封死。一千日满，徒弟们打开坟墓进行检查。如果没有腐烂就成功了，僧人的身体就被摆在庙中，尊为活佛；如果腐烂了，徒弟会再次把他埋葬，他还是能得到信徒的敬爱。
Sokushinbutsu的第一次实践是在1081年，但是没有成功，试(第)水(一)的(只)僧(螃)侣(蟹)尸体腐烂了。后来尝试sokushinbutsu的有一百多名僧侣，成功的只有二十多个，都在山形县及其附近。
Sokushinbutsu整体的成功率很低，僧人们尝试了各种方法，但即使完全仿照成功案例，也还是可能失败，他们所忍受的非人折磨就那样白费了。不过，山形县的僧侣成功率特别高，特别是喝了汤殿山圣泉水的僧侣。调查发现那些泉水含砷量足以致命，僧人死后，砷还留在体内，因此尸体上不会长虫。
1877年，明治天皇颁布法令取缔sokushinbutsu，除非履行仪式的僧侣在法令实施前就已经进入最后阶段，否则任何人不得打开其坟墓。当时，一个名叫Tetsuryūkai的独眼和尚已经为此准备多年，毅然决定继续他的仪式，1878年仍把自己封进了坟墓。
仪式完成时，他的徒弟们半夜偷偷把他挖了出来，发现他成功了，大喜过望。但如果公然把他摆出来，就相当于承认犯法。最后，他们不得不修改寺内记录，将师父的死亡时间改为1862年。Tetsuryūkai的身体现在还供奉在日本的一个寺庙内，他是最后一个成功进行sokushinbutsu的人。
由于火灾等事故，有些木乃伊被毁掉了，但有十六具保存完好。它们的姿势和死去时一样，都是清一色的莲花坐，它们身着传统僧袍，眶中无眼，牙齿龇着，头骨上抻着皮肤，像黑色的皮革，手部骨骼形状清晰可见，手或握着念珠，或落在膝上。朝拜者们在此祷告，期待活佛显灵，祈求得允。
鉴于这种佛教仪式践行者甚多，方式隐蔽，有的僧侣成功之后很有可能仍被封在墓里。由于年代久远，再无人记得他们身在何处，也没人记得他们的牺牲。
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